| 加工定制：是 | 品牌：西安庆成 | 型号：DHPS |
| 测量范围：245 | 测量精度：2455 | 外形尺寸：66mm |
| 显示方式：565 | 工作环境：5454 |
DHPS系列直流溅射等离子体实验装置
装置采用同轴二极溅射结构，靶台和靶距离可调节，溅射基片可进行控温加热；
溅射气压、溅射气源流量可调节，可研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响
；反应腔体采用石英玻璃管，可直观地观察到溅射现象；工作气体可调节更换，
并可多路气体混合工作。可以完成光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量、金
属薄膜的制备等实验。
主要实验内容：
◆光学薄膜材料的制备及其光学特性的测量；
◆金属薄膜的制备实验；
◆理解直流溅射原理，掌握直流溅射薄膜材料的工艺方法。
主要技术特点：
◆溅射靶台和溅射靶距离可调节，研究在不同距离时对薄膜溅射的影响；
◆溅射基片可进行加热，加热温度可控，研究基片温度对薄膜溅射的影响；
◆溅射气压、溅射气源流量可调节，研究不同气压、气源流量对薄膜溅射的影响
◆反应腔体采用石英玻璃管，可直观地观察到溅射现象；
◆供电电源：AC 220V，50 Hz。
